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脉冲磁控溅射电源的功能和工作原理

2024-07-16 16:37:55
次

脉冲磁控溅射是一种用矩形波电压脉冲电源代替传统55世纪:直流电源的方法。脉冲溅射可以有效抑制🥃电弧的产生，消除由此产生的薄膜缺陷，同时可以提高溅射的沉积速率，降低沉积温度等൩一系列显著优点，是溅射绝缘材料沉积的工艺。


脉冲磁控溅射的工作原理


其中一个过渡期有正输出功率和负输出功率俩个阶段中，，在负输出功率段，交流电源对靶材的溅射起能力，正输出功率段运用自动化和靶材外面积少成多的正电荷量，使外面擦洗，外漏出复合外面。


产生在靶材上的脉冲信号直流交流端电阻值与一般的磁控溅射相当！在400~500V，电模块速率在10~350KHz，在保护释放动态平衡的本质下，应负机会取低的速率#毕竟等正铝离子体中的智能电子相在正铝离子具有着较高的知识率，以正直流交流端电阻值值只需要负直流交流端电阻值的10%-20%，就可不能否可行地采和积淀在靶外壁上的正自由电荷量。占空比的抉择保持了溅射环节中靶外壁上的减少自由电荷量可不能否在正直流交流端电阻值时间段全采和，以此尽机会改善占空比，完成电模块的大学习效率。

脉冲磁控溅射电镀电源

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