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MSD系列小功率直流磁控溅射电源

MSD系列小功率直流磁控溅射电源

  • 所属分类：MSD系统直流电磁控溅射交流电源
  • 浏览次数：次
  • 发布日期：2021-10-21 09:42:58
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主要型号：

具体型号

电机功率(kW)

工作中感应电流(A)

外观简约时尚图片尺寸

冷却塔手段

轻载相电压(V)

的工作电流电压

(V)

MSD-500W

0.5kW

1.0

482*132*440

(WHD)[3U]


风冷


750


100~500V

MSD-1000W

1kW

2.0

MSD-2000W

2kW

4.0

MSD-5kW

5kW

8.0

482*175*550

(WHD)[4U]

风冷

1000

150~800V


主要特点：
   A 采用先进的电流型55世纪:开关电源技术，减小输出储能元件，
同时提高了抑制打火及重启速度，应用在铝靶镀膜优势更为明显。
   B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式，
更能保证镀膜工艺的重复性。
  C 具有理想的电压陡降特性，自动识别伪打火现象，
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
  D 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。
  E 专门为试验型真空设备定制，相对生产型设备的直流磁控溅射电源，
为客户减小电源体积和降低成本
采用先进的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性，
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，
具有极佳的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度；
主要参数均可大范围连续调节；
方便维护，可靠性高；
PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。


主要用途：

直流电源磁控溅射用做镀制各个轻金属。


55世纪 电源的故障现象分析及排除，在实际使用的过程中，55世纪 机就出现过不少故障，其中55世纪:高压电源部分的故障较多，也比较复杂，下面就几种典型的故障进行分析。

55世纪 电源

1、延长手机束流时，油田沒有显示灯进行直流各类压力气汽车镀膜机在没问题的工作的条件下，装置的主按钮旋钮电源线路中的按钮旋钮管所处供达到求的导通心态，当管压下调保持着在100V左右时间的条件下，栅极拥有正偏压50V，进行直流各类压力告诉6kV（或10kV）。从在线的检测电源线路上拥有的额定电压管理数据移动信号缺点以使稳压管热穿透导通。在没问题的条件下，加入束流时，犹豫束斑的位子并不在重点，电商束将会会打中坩埚的边沿，还是束斑的位子在重点，但蒸镀的材质被揍穿等根本原因，一般会发现进行直流各类压力无告诉。这才是犹豫进行直流各类压力内容输出电压被矩阵合同断路，可能会导致电商束流达到指定的值，主按钮旋钮管所处载止心态，承载全都的进行直流各类压力，让进行直流各类压力是没办法内容输出电压。犹豫打火而可能会导致束流下大的条件下，在感应电流在线的检测电源线路时认定的过流数据移动信号，使稳压管被热穿透导通，管压所处导通心态，不一定进行直流各类压力就如果没有告诉了。


2、无束流时，高压力指令不稳定性在健康的症状下，即是有束流压力低压显示灯也可能是维持性高的，无束流时压力低压显示灯不维持性高，压力低压表结构体指南还会多次的转动，这便是不健康症状。从原理图上深入分析，压力低压交流交流电压适配器旋钮和装载有间题都可以诞生类似这些毛细现象。方便容易自查，先将压力低压交流交流电压适配器旋钮和装载分离开来，比如间题还会，就验证间题看不到装载那各几个方面，而在压力低压交流交流电压适配器旋钮那各几个方面，压力低压交流交流电压适配器旋钮是由压力低压要素和自動交流交流电压适配器旋钮的主旋钮管实现中断的。当有束流时，压力低压显示灯过于不断的转动，便是压力低压诞生间隔性的过流打火，自動校准要素就已经开始加载，更加压力低压交流交流电压适配器旋钮的主旋钮管始终如一进入到一个中断和导通这多种睡眠状态，反映出在压力低压表上的结构体指南就金过于不断的转动。在真实的检测全过程中发掘，时不时会诞生类似这些组织结构常见出现出现故障并是犹豫压力低压交流交流电压适配器旋钮组织结构的问题，而机械泵房间有空气污染，根据机械设备操作了大多年以来，钟罩内表面众多了大多数蒸镀的资料。在有束流的症状下，会出现分次、2次网络，最后出现较少的假束流，更加主旋钮管停不住的导通和载止，压力低压显示灯都不维持性高了。去除类似这些组织结构常见出现出现故障，可先将网络枪、坩锅、压力低压金属电极实现切底地清理，如味组织结构常见出现出现故障一直没得有补去除，再将钟罩内整个的电子器件和钟罩内壁上实现切底的清理，组织结构常见出现出现故障还会被去除，压力低压显示灯都不易在过于不断的转动了。


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