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MSD系列小功率直流磁控溅射电源

MSD系列小功率直流磁控溅射电源

  • 所属分类:MSD产品系列直流电磁控溅射电源线
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2021-10-21 09:42:58
  • 产品概述
  • 性能特点
  • 技术参数

主要型号:

规格型号

工作效率(kW)

工作中电压(A)

外观设计尺寸图

冷确形式

轻载电阻(V)

任务电压电流

(V)

MSD-500W

0.5kW

1.0

482*132*440

(WHD)[3U]


风冷


750


100~500V

MSD-1000W

1kW

2.0

MSD-2000W

2kW

4.0

MSD-5kW

5kW

8.0

482*175*550

(WHD)[4U]

风冷

1000

150~800V


主要特点:
   A 采用先进的电流型55世纪:开关电源技术,减小输出储能元件,
同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。
   B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式,
更能保证镀膜工艺的重复性。
  C 具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象,
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
  D 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
  E 专门为试验型真空设备定制,相对生产型设备的直流磁控溅射电源
为客户减小电源体积和降低成本
采用先进的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能,
具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度;
主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。


主要用途:

电流磁控溅射中用镀制不同五金。


55世纪 电源的故障现象分析及排除,在实际使用的过程中,55世纪 机就出现过不少故障,其中高压电源部分的故障较多,也比较复杂,下面就几种典型的故障进行分析。

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电源

1、多电子器材束流时,压力不指令真空环境玻璃镀膜机在普通情况下下办公的的时刻,产品的主电转换旋转开关线路中的电转换旋转开关管长期处在过剩的导通工作情况,当管压减少确保在100V左右时间的的时刻,栅极到正偏压50V,油田告诉6kV(或10kV)。从论文测试线路上到的电压电流大小管理表现匮乏以使稳压管穿透电压导通。在确定不普通情况下下的情况下下,提升束流时,随着束斑的地理区域不会在服务中央,网上束有可能会打下坩埚的边界,甚至束斑的地理区域在服务中央,但蒸镀的物料打伤穿等原故,都能诞生油田无告诉。这都是随着油田输入被相当于串电,可能会导致网上束流低于相应的值,主电转换旋转开关管长期处在截止期工作情况,抗住整个的油田,让油田無法输入。随着打火而可能会导致束穿过大的的时刻,在电流大小论文测试线路时拿到的过流表现,促使稳压管被穿透电压导通,管压长期处在导通工作情况,不一定油田就如果没有告诉了。


2、无束流时,进行高压技巧不固定在普通 的症状下下,纵然有束流髙压指的是标志也应是维持的可靠的,无束流时髙压指的是标志不维持的可靠,髙压表结构体警示针也会经常的摇动,这就是说说不普通 症状下。从机制上探讨,髙压电压和阻抗有大疑问也会出現各种症状。成了易于自查,先将髙压电压和阻抗分不开,但如果大疑问还,就介绍信大疑问不能了阻抗那等管理方面,即使在髙压电压那等管理方面,髙压电压是由髙压要素和自行电压的主面板按钮管实施断掉的。当有束流时,髙压指的是标志经常的摇动,就是说说髙压出現连继性的过流打火,自行归零要素就始于运转,用到髙压电压的主面板按钮管总是正处在断掉和导通这两者状况,反应在髙压表上的结构体警示针就金经常的摇动。在现实事情的检测步骤中会发现,好多事情下会出現各种的设备出现问题并不再是是鉴于髙压电压内控的缘故,即使真空室车间内有水污染,鉴于的设备用到了一大堆年,钟罩内面上聚众了非常多蒸镀的相关材料。在有束流的症状下下,会呈现再次、三四次微智能,可以呈现相对较大的假束流,用到主面板按钮管不止的导通和截止到,髙压指的是标志我就不维持的可靠了。消失各种的设备出现问题,可先将微智能枪、坩锅、髙压参比电极实施全面地的清晰,如味的设备出现问题还会有补消失,再将钟罩内几乎所有的电子元器件和钟罩外壁实施全面的的清晰,的设备出现问题也会被消失,髙压指的是标志我就不易在经常的摇动了。


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